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ALT Inc.
 
제품명 : 고속주사 위치계측 system
모델명 : ALT-9381
제작회사 : ALT INC.
간략한설명 : 20,000rpm이상에서 회전하는 고속 폴리곤 스캐너의 회전 상태에서의 동적 면다오레량을 연속 측정할 수 있습니다. 그리고 동일 스캐너를 사용한 레이저 스캐닝 유니트에서의 부주사 변동의 방향도 연속 측정할 수 있습니다.
   
   
 
항목 내 용
표준위치측정범위 ±250㎛ (빔 경 약 400㎛으로)
측정분해능 0.3㎛ (측정 거리 약 300mm의 경우, 0.3㎛의 분해능은 0.2초에 상당합니다.
측정속도 8면 80,000rpm이상
주사주파수 2~10KHz
spot size 40~600㎛
수광 power 0.1mW~100mW (1mW이상은 ND필터로 대응)
면다오레 데이터수 최대 64,000 데이터
펄스 폭 측정 분해능 5ns, 최대 300㎲
 
 
담당자명 AU International
전화번호 02-6677-3481
E-mail au@auint.com
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