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ALT Inc.
 
제품명 : POLYGON MIRROR 종합검사 시스템
모델명 :
제작회사 : ALT Inc.
간략한설명 : POLYGON MIRROR의 면다오레, 면분할, 반사율, 흡집, 오물을 60초 이하로 계측, 판정합니다.
   
   
 
항목 내 용
면수 4~12면
면다오레 분해능 1초 이하
면분할 분해능 1초 이하
반사율 파장 780, 635nm P/S/R 편광
흠집, 오물 CCD 화상 센서
회전 스테이지 정압 에어 베어링
 
 
담당자명 AU International
전화번호 02-6677-3481
E-mail au@auint.com
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